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发明名称 CLEANING MACHINE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR200186760(Y1) 申请公布日期 2000.06.15
申请号 KR20000002283U 申请日期 2000.01.27
申请人 SON, JEONG-HA 发明人 SON, JEONG-HA
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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