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发明名称 BESCHICHTUNGSAPPARATUR UND -VERFAHREN FÜR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 AT193336(T) 申请公布日期 2000.06.15
申请号 AT19970914121T 申请日期 1997.02.03
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 BONZEL, HANS, PAUL;PIRUG, GERHARD;VERHASSELT, JOERN
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/46;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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