| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Metallfilmen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69231026(D1) |
申请公布日期 |
2000.06.15 |
| 申请号 |
DE19926031026 |
申请日期 |
1992.10.28 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KATAOKA, YUZO;HAYAKAWA, YUKIHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/04;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/06;C23C16/02 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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