| 发明名称 |
Mehrschicht-Resistverfahren zum Herstellen eines MLR-Musters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4338778(C2) |
申请公布日期 |
2000.06.15 |
| 申请号 |
DE19934338778 |
申请日期 |
1993.11.12 |
| 申请人 |
GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. |
发明人 |
LEE, JUN SEOK |
| 分类号 |
G03F7/26;G03F7/00;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/095;G03F7/11;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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