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发明名称 AERODYNAMIC CHAMBER DESIGN FOR HIGH PULSE REPETITION RATE EXCIMER LASERS
摘要
申请公布号 EP1008210(A2) 申请公布日期 2000.06.14
申请号 EP19980907360 申请日期 1998.02.04
申请人 CYMER, INC. 发明人 MORTON, RICHARD, G.;FOMENKOV, IGOR V.;PARTLO,WILLIAM NORMAN
分类号 H01S3/097;H01S3/036;H01S3/225;(IPC1-7):H01S1/00 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
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