压电致动器及其制造方法和喷墨打印头

摘要

在由压电材料形成的第一片和由规定材料形成的第二片当中,在所述第一片的一个表面上形成由导电材料形成的上电极层和在所述第一片的另一表面或者所述第二片的一个表面上形成由导电材料形成的下电极层。将第一和第二片堆积起来密实,下电极层夹在当中,通过对上电极层或下电极层进行图案处理以便形成分别对应于压力腔形成单元的每个压力腔的多个电极,将能制造出压电致动器。

主权项

1.一种在压力腔形成单元的每个压力腔中产生压力的压电致动器，在压力腔形成单元中，在一个表面上设置由多个凹陷部分形成的压力腔，所述压电致动器包括：排列在所述压力腔形成单元的所述一个表面上的覆盖每个所述压力腔的振动层；层叠在所述振动层上的由导电材料形成的下电极层；层叠在所述下电极层上的由在其厚度方向极化的压电材料形成的第一压电层，其大小可覆盖多个所述压力腔；层叠在所述第一压电层上的由导电材料形成的上电极层；其特征在于：所述上电极层或所述下电极层中至少有一层由相对于压力腔形成单元的每个所述压力腔而分开形成的多个电极形成。