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发明名称 Semiconductor device and its fabrication process
摘要
申请公布号 EP0695007(B1) 申请公布日期 2000.06.14
申请号 EP19950304681 申请日期 1995.07.04
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 发明人 HORIE, HIDEYOSHI;FUJIMORI, TOSHINARI;NAGAO, SATORU;GOTOH, HIDEKI
分类号 H01L21/306;H01L33/02;H01L33/14;H01L33/30;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/32;H01S5/323;(IPC1-7):H01S5/32 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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