| 发明名称 | 光学平移测量 | ||
| 摘要 | 一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法,它包括:用入射照明光照明表面;探测从表面反射的光以形成至少一个探测信号;以及根据上述至少一探测信号确定平行于表面的相对运动的量,其特征在于:上述的确定包含了对垂直于表面的相对运动的影响的校正。 | ||
| 申请公布号 | CN1256755A | 申请公布日期 | 2000.06.14 |
| 申请号 | CN99800253.4 | 申请日期 | 1999.03.09 |
| 申请人 | OTM技术有限公司 | 发明人 | 奥帕·金诺特;乌里·金诺特;吉拉德·莱德雷尔 |
| 分类号 | G01P3/36;G01S17/50 | 主分类号 | G01P3/36 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 韩宏 |
| 主权项 | 1、一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，它包括：用入射照明光照明表面；探测从表面反射的光，以形成至少一个探测信号；以及根据上述至少一个探测信号确定平行于表面的相对运动的量，其特征为，上述的确定包含对垂直于表面的相对运动的影响的校正。 | ||
| 地址 | 塞浦路斯尼科西亚 | ||