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发明名称
摘要
申请公布号	JP2000507397(A)	申请公布日期	2000.06.13
申请号	JP19970534335	申请日期	1997.03.26
申请人		发明人
分类号	H01L29/861;H01L21/20;H01L21/337;H01L23/48;H01L29/808;(IPC1-7):H01L29/861	主分类号	H01L29/861
代理机构		代理人
主权项
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