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发明名称
摘要
申请公布号
JP3052574(B2)
申请公布日期
2000.06.12
申请号
JP19920139539
申请日期
1992.06.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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