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发明名称
摘要
申请公布号 JP3052401(B2) 申请公布日期 2000.06.12
申请号 JP19910049255 申请日期 1991.02.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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