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发明名称
摘要
申请公布号	JP3050130(B2)	申请公布日期	2000.06.12
申请号	JP19960202453	申请日期	1996.07.31
申请人		发明人
分类号	G01R31/00;H01L41/107;(IPC1-7):H01L41/107	主分类号	G01R31/00
代理机构		代理人
主权项
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