| 主权项 |
1.一种机构制动式气密装置,包含: 一上盖,具有一顶面与一底面,该上盖形成有一或 多个贯穿其中之气孔; 一或多个密封垫,系分别设置于该上盖之气孔上, 该密封垫具有一呈楔形斜面之底面,该密封垫之底 面另形成有一贯穿孔; 一或多个连动片,各连动片分别具有一顶面与一底 面,于该底面之一侧,设置有一突粒,于该顶面上,相 对于该突粒之一侧,形成有一或多个楔形斜面,该 楔形斜面具有与该密封垫底面配合之楔形斜面相 同之斜率,使至少一该连动片顶面之至少一该楔形 斜面可与至少一该密封垫底面之该楔形斜面贴合; 及 一驱动轮,具有一顶面与底面,该顶面上形成有一 导槽,使该连动片之突粒可沿着该导槽移动。2.根 据申请专利范围第1项之机构制动式气密装置,更 包含: 一下盖,具有一顶面与一底面,该顶面系位于该驱 动轮之底面下方,而与该上盖相结合。3.根据申请 专利范围第1项之机构制动式气密装置,其中,该密 封垫之顶面设置有一突缘。4.根据申请专利范围 第1项之机构制动式气密装置,其中,该连动片顶面 之该楔形斜面可与该密封垫底面之该楔形斜面之 一可利用具弹性的材料制成。图式简单说明: 第一图系本创作「机构制动式气密装置」设置于 晶圆盒底部之示意图; 第二图系本创作「机构制动式气密装置」之部分 分解图; 第三图系本创作「机构制动式气密装置」之另一 部分分解图; 第四图A系显示本创作「机构制动式气密装置」于 解除气密状态时之示意图; 第四图B系显示本创作「机构制动式气密装置」于 气密状态时之示意图; 第五图A系沿第四图A之线5A-5A之剖视图;及 第五图B系沿第四图B之线5B-5B之剖视图。 |
