发明名称 研磨工具
摘要 本发明提供适于在达到每秒160米之砂轮圆周速度下精准抛光诸如陶瓷及包含陶瓷之合成材质之硬脆材料研磨工具。该研磨工具包含一藉着热稳定之接合剂附着至一密集、金属黏结之超耐磨片段研磨边缘之轮芯。用于背面抛光陶瓷晶圆之一较佳工具包含石墨填料及一相当低之磨粒浓度。
申请公布号 TW393384 申请公布日期 2000.06.11
申请号 TW088102167 申请日期 1999.02.11
申请人 发明人
分类号 B24D3/00;B24D5/00 主分类号 B24D3/00
代理机构 代理人
主权项 1.一种包含轮芯之表面抛光研磨工具,其具有2.4百 万巴斯卡(MPa)-立方公分/克之最小比强度参数、0.5 至8.0克/立方公分之轮芯密度、一圆周、及一由多 数研磨片段所界定之研磨边缘;其中该研磨片段包 含总共选自合计最大100体积百分比之由0.05至10体 积百分比之超耐磨晶粒、由10至35体积百分比之易 碎填料、及由具有1.0至3.0百万巴斯卡M1/2断裂韧度 之55至89.95体积百分比之金属黏结基体。2.根据申 请专利范围第1项之研磨工具,其中该轮芯包含一 选自包含铝、钢、钛及青铜、合成物及其合金与 其结合物族群之金属制材料。3.根据申请专利范 围第1项之研磨工具,其中该研磨片段包含60至84.5 体积百分比之金属黏结基体、0.5至5体积百分比磨 粒、及15至35体积百分比之易碎填料,且该金属黏 结基体包含最大5体积百分比之孔隙度。4.根据申 请专利范围第1项之研磨工具,其中该易碎填料系 选自包括石墨、大方晶系氮化硼、中空陶瓷球体 、长石、霞石、黑花岗石、浮石、锻烧黏土、与 玻璃球体及其结合物之族群。5.根据申请专利范 围第1项之研磨工具,其中该磨粒系选自包括金刚 石及立方体氮化硼及其结合物之族群。6.根据申 请专利范围第6项之研磨工具,其中该磨粒系具有2 至300微米粒度尺寸之金刚石。7.根据申请专利范 围第1项之研磨工具,其中该金属接合剂包括35至84 重量百分比之铜及16至65重量百分比之锡。8.根据 申请专利范围第7项之研磨工具,其中该金属接合 剂另包含0.2至1.0重量百分比之磷。9.根据申请专 利范围第1项之研磨工具,其中该研磨工具包含至 少二研磨片段且该研磨片段呈修长弓形及具有一 内部曲率,选择该曲率以配合该轮芯之圆周,及每 一研磨片段具有设计供配合邻接研磨片段之二端 点,以致该研磨边缘呈连续性及当该研磨片段黏结 至该轮芯时实质上于各研磨片段之间无任何间隙 。10.根据申请专利范围第1项之研磨工具,其中该 工具系选自包括lAl型砂轮及杯形砂轮之族群。11. 根据申请专利范围第1项之研磨工具,其中该热稳 定接合剂系选自基本上包括环氧基树脂接合剂、 冶金接合剂、机械接合剂、及扩散接合剂及其结 合物之族群。图式简单说明: 第一图说明黏结至一金属轮芯周边以形成lAl型研 磨砂轮之研磨片段之连续式边缘。 第二图说明黏结至一金属轮芯周边以形成杯形砂 轮之研磨片段之连续式边缘。 第三图说明在以范例5之研磨砂轮抛光一碳化铝钛 工件期间,所移去材料量及正交力间之关系。
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