| 主权项 |
1.一种研磨装置,包含: 一旋转台板;以及 一用以使该工件在该台板之直径方向摆动同时将 该 工件压抵在该台板上之加压构件; 其中该台板系分成呈同心地排列及能够独立地旋 转 之一内侧周边台板部份及一甜甜圈形之外侧周边 台板部 份。2.如申请专利范围第1项之研磨装置,其中系使 该内侧周 边台板部份及该外侧周边台板部份在相反方向旋 转。3.如申请专利范围第2项之研磨装置,其中设定 该内侧周 边台板部份及外侧周边台板部份之旋转速度,以致 该工 件与该内侧周边台板部份间之平均相对速度及该 工件与 该外侧周边台板部份间之平均相对速度大体而言 变得相 同。4.如申请专利范围第1项之研磨装置,其中: 该内侧周边台板部份系形成一甜甜圈形状,以及 使该工件突出,以致部份工件由该内侧周边台板部 份之内缘及该外侧周边台板部份之外缘伸出。5. 如申请专利范围第1项之研磨装置,复包含: 安排在可经由该内侧周边台板部份及该外侧周边 台 板部份间之间隙窥视之位置,及在该工件之研磨表 面中 心部份通过其上方之一位置,并测量该研磨表面中 心部 份附近之研磨状态之第一测量装置;以及 安排在可经由该内侧周边台板部份及该外侧周边 台 板部份间之间隙窥视之位置,及在该工件之研磨表 面外 侧周边部份通过其上方之一位置,并测量该研磨表 面外 侧周边部份之研磨状态之第二测量装置。 |
