主权项 |
1.一种晶体拉制机,系用于在坩埚内将可熔化材料制成晶体块,其中,坩埚是被一加热器所包围并安装在一外壳内,在该容器壁上装设一种绝热材料,而在其外侧则设有供冷却介质用之冷却槽,因而该容器至少设一保护气进口及一保护气出口,其特征为容器(1)在坩埚(4)之范围内由一内保护管(6)至加热器(5)方向内界定并与保护气出口(14,15)相连接之一环状通路(8),而在环状通路之外侧面则由一外保护管(7)所限定,在该外保护管之后面则装设容器(1)之绝热材料(10)。2.如申请专利范围第1项之晶体拉制机,其中环状通路8在其下端面上由一筛板(9)所限定,经由该筛板则可与保护气出口(14,15)连通。3.如申请专利范围第1或第2项之晶体拉制机,其中容器(1)在其底部(16)设有两个保护气出口(14,15)并在容器(1)之轴向内校准并互相对置。4.如申请专利范围第1或第2项之晶体拉制机,其中内保护管(6)是向上伸长直达加热器(5)之上缘。5.如申请专利范围第3项之晶体拉制机,其中内保护管(6)是向上伸长直达加热器(5)之上缘。图式简单说明:第一图为根据本发明所设计之晶体拉制设备之纵剖面图。 |