发明名称 晶体拉制机
摘要 一种用以在一坩埚(4)内将可熔化材料制成晶体块(17)之晶体拉制机具有在一容器(l)内包围在坩埚(l)周围之加热器(5),该容器(l)则在坩埚(4)之范围内构成一环状通路(8),该通路系由一内保护管(6)至加热器(5)方向内所界定并与保护气出口(14,15)相连接,而其外侧面则由一外保护管(7)所限定,在该外保护管之后面则装设容器(l)之绝热材料(10)。(如附图)
申请公布号 TW393526 申请公布日期 2000.06.11
申请号 TW085111727 申请日期 1996.09.25
申请人 巴尔杰思和雷包德股份有限公司 发明人 温富瑞德史考曼;乔汉史考勒
分类号 C30B35/00 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种晶体拉制机,系用于在坩埚内将可熔化材料制成晶体块,其中,坩埚是被一加热器所包围并安装在一外壳内,在该容器壁上装设一种绝热材料,而在其外侧则设有供冷却介质用之冷却槽,因而该容器至少设一保护气进口及一保护气出口,其特征为容器(1)在坩埚(4)之范围内由一内保护管(6)至加热器(5)方向内界定并与保护气出口(14,15)相连接之一环状通路(8),而在环状通路之外侧面则由一外保护管(7)所限定,在该外保护管之后面则装设容器(1)之绝热材料(10)。2.如申请专利范围第1项之晶体拉制机,其中环状通路8在其下端面上由一筛板(9)所限定,经由该筛板则可与保护气出口(14,15)连通。3.如申请专利范围第1或第2项之晶体拉制机,其中容器(1)在其底部(16)设有两个保护气出口(14,15)并在容器(1)之轴向内校准并互相对置。4.如申请专利范围第1或第2项之晶体拉制机,其中内保护管(6)是向上伸长直达加热器(5)之上缘。5.如申请专利范围第3项之晶体拉制机,其中内保护管(6)是向上伸长直达加热器(5)之上缘。图式简单说明:第一图为根据本发明所设计之晶体拉制设备之纵剖面图。
地址 德国
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