| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines mehrlagigen Überzugs aus einer nitridhaltigen Verbindung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69608027(D1) |
申请公布日期 |
2000.06.08 |
| 申请号 |
DE19966008027 |
申请日期 |
1996.05.29 |
| 申请人 |
PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
JIINJEN, ALBERT SUE |
| 分类号 |
C01B21/076;C23C14/06;C23C28/04;(IPC1-7):C23C14/06;C23C30/00 |
主分类号 |
C01B21/076 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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