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发明名称 Widerstandsbestimmungsmethode von N-Typ-Siliziumepitaxieschichten
摘要
申请公布号 DE69421014(T2) 申请公布日期 2000.06.08
申请号 DE1994621014T 申请日期 1994.07.12
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 MITANI, KIYOSHI;SAISU, SHIGENORI;SUMIYA, HIROSHI;KATAYAMA, MASATAKE
分类号 G01N27/04;G01R27/02;G01R27/14;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/64 主分类号 G01N27/04
代理机构 代理人
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