一种自动在线测径的方法及其装置

摘要

本发明公开了一种自动在线测径方法,它是将激光经光栅G和会聚透镜L1形成平行的一列衍射光斑,被测工件置于透镜L1的像平面上并作一定幅度的横向振动,会聚透镜L2将光斑和工件的像经二次傅里叶变换投射到光电二极管阵列上,根据工件遮挡的光斑数和二光斑的间距,及结合计算机对光电二极管阵列连续扫描的结果和分析得出工件横向振动的运动状态,精确计算出工件的直径,测量精度达到0.01mm。本发明提供了测量装置。

主权项

1.一种自动在线测径的方法，其特征是将平行激光光束照射高调制度低密度位相光栅(G)，经会聚透镜(L1)，在会聚透镜(L1)的像平面上得到的光场分布为一列衍射光斑，被测工件置于会聚透镜(L1)的像平面上，并作一定幅度的横向振动，会聚透镜(L2)将衍射光斑及工件的像经二次傅里叶变换投射到光电二极管阵列上，在光电二极管阵列上形成衍射光斑的像及被工件遮挡形成的阴影，根据被遮挡的光斑数和二光斑的间距，及结合计算机对光电二极管阵列连续扫描的结果和分析得出工件横向振动的运动状态，从而进行内插值计算，算出被测工件精确的径值。