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发明名称
摘要
申请公布号 JP3048363(B2) 申请公布日期 2000.06.05
申请号 JP19990198872 申请日期 1999.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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