发明名称
摘要
申请公布号 JP3049807(B2) 申请公布日期 2000.06.05
申请号 JP19910088369 申请日期 1991.04.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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