发明名称 TEXTURED BI-BASED OXIDE CERAMIC FILMS
摘要 A non-volatile memory cell wherein the capacitor comprises a Bi-based metal oxide having a crystallographic texture to produce high switchable polarization.
申请公布号 WO0031791(A1) 申请公布日期 2000.06.02
申请号 WO1999US27683 申请日期 1999.11.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 DESROCHERS, DEBRA, A.;HENDRIX, BRYAN, C.;ROEDER, JEFFREY, F.;HINTERMAIER, FRANK, S.
分类号 C04B35/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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