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发明名称
SCHNELLE MAGNETISCHE ABRASTERUNG MIT SCHWERIONENSTRAHLEN
摘要
申请公布号
DE69513652(T2)
申请公布日期
2000.05.31
申请号
DE19956013652T
申请日期
1995.06.02
申请人
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
发明人
GUERRA, MICHAEL;GLAVISH, HILTON;KAWAI, TADASHI;NAITO, MASAO;NAGAI, NOBUO
分类号
H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/141
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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