发明名称 SCHNELLE MAGNETISCHE ABRASTERUNG MIT SCHWERIONENSTRAHLEN
摘要
申请公布号 DE69513652(T2) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 DE19956013652T 申请日期 1995.06.02
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 发明人 GUERRA, MICHAEL;GLAVISH, HILTON;KAWAI, TADASHI;NAITO, MASAO;NAGAI, NOBUO
分类号 H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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