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发明名称 An ion implanter with improved beam definition
摘要
申请公布号 GB2344214(A) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 GB20000006260 申请日期 1996.08.01
申请人 * APPLIED MATERIALS INC;* INTEL CORPORATION 发明人 JONATHAN GERALD * ENGLAND;BABAK * ADIBI;MITCHELL C * TAYLOR
分类号 H01J37/05;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
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