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发明名称 ELECTROLESS DEPOSITION OF METAL FILMS WITH SPRAY PROCESSOR
摘要
申请公布号 EP0811083(B1) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 EP19960945627 申请日期 1996.12.18
申请人 FSI INTERNATIONAL;CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. 发明人 SHACHAM-DIAMAND, YOSI;NGUYEN, VINH;DUBIN, VALERY
分类号 C23C18/31;C23C18/16;C23C18/32;C23C18/38;C23C18/40;C23C18/44;H01L21/288;(IPC1-7):C23C18/16 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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