Vorrichtungen zur Kontrolle von Halbleiterscheiben

摘要

Die Vorrichtung weist eine Einrichtung (E) auf zur Aufnahme der zu kontrollierenden Halbleiterscheibe (WF), eine Beleuchtungseinrichtung (Lt1) zur Beleuchtung der Halbleiterscheibe (WF), eine halbkugelförmige Abdeckeinrichtung (HK) mit einer Oberfläche (K1). Die Abdeckeinrichtung (HK) bildet einen Innenraum (Rm). Eine weitere Abdeckeinrichtung (K) ist in der Umgebung der Beleuchtungseinrichtung (Lt1) angeordnet. Das Objektiv (Obj) einer Kamera (CAM) blickt in den Innenraum (Rm). Die Kamera (CAM) ist mit einer Auswerteeinrichtung (PC) verbunden, die die Kamera (CAM) steuert und die den Empfang, der Zwischenspeicherung, der Verarbeitung und der Ausgabe von Daten dient, die die Kamera (CAM) übermittelt.