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发明名称 Einen Schnellatomstrahl gebrauchende Verarbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69421215(T2) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 DE19946021215T 申请日期 1994.07.04
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO
分类号 B23K15/00;B23K15/06;B23K17/00;B23K26/12;B23K28/02;G21K5/00;H05H3/00;(IPC1-7):H05H3/00 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
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