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发明名称 Verfahren zur Fertigung von dünnen Substratschichten und eine dafür geeignete Substratanordnung
摘要
申请公布号 DE19840421(C2) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 DE1998140421 申请日期 1998.09.04
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 HABERGER, KARL;PLETTNER, ANDREAS
分类号 H01L21/306;H01L21/20;H01L21/301;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/58;H01L21/311;H01L21/86 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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