发明名称 Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung
摘要
申请公布号 DE69033515(D1) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 DE1990633515 申请日期 1990.05.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 SEKIKAWA, NOBUYUKI;TAKADA, TADAYOSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L21/761;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/82 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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