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发明名称 Method and apparatus for fabricating compound semiconductor epitaxial wafer by vapour phase growth
摘要
申请公布号 EP0905287(A3) 申请公布日期 2000.05.31
申请号 EP19980306285 申请日期 1998.08.06
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 WATANABE, MASATAKA;KAISE, TSUNEYUKI;SHINOHARA, MASAYUKI
分类号 C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L33/30;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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