| 发明名称 |
MIRROR PROJECTION SYSTEM FOR A SCANNING LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS, AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH A SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1004057(A1) |
申请公布日期 |
2000.05.31 |
| 申请号 |
EP19990913544 |
申请日期 |
1999.04.26 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
BRAAT, JOSEPHUS, J., M. |
| 分类号 |
G02B17/00;G02B17/06;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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