| 发明名称 |
REMOVAL OF MATERIAL BY RADIATION APPLIED AT AN OBLIQUE ANGLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HU9903927(A3) |
申请公布日期 |
2000.05.29 |
| 申请号 |
HU19990003927 |
申请日期 |
1997.07.22 |
| 申请人 |
CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP, BETHESDA, MARYLAND |
发明人 |
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| 分类号 |
B08B7/00;B23K26/14;H01L21/306 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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