发明名称
摘要
申请公布号 JP3047257(B2) 申请公布日期 2000.05.29
申请号 JP19910167143 申请日期 1991.07.08
申请人 发明人
分类号 B60L13/10;B65G49/00;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B60L13/10 主分类号 B60L13/10
代理机构 代理人
主权项
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