发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Phasendifferenz zwischen interferierenden Strahlen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE19707773(C2) |
申请公布日期 |
2000.05.25 |
申请号 |
DE19971007773 |
申请日期 |
1997.02.26 |
申请人 |
KAYSER-THREDE GMBH |
发明人 |
ROTHS, JOHANNES;KOLTCHANOV, IGOR |
分类号 |
G01J9/04;(IPC1-7):G01J9/04 |
主分类号 |
G01J9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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