发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen der Phasendifferenz zwischen interferierenden Strahlen
摘要
申请公布号 DE19707773(C2) 申请公布日期 2000.05.25
申请号 DE19971007773 申请日期 1997.02.26
申请人 KAYSER-THREDE GMBH 发明人 ROTHS, JOHANNES;KOLTCHANOV, IGOR
分类号 G01J9/04;(IPC1-7):G01J9/04 主分类号 G01J9/04
代理机构 代理人
主权项
地址