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发明名称 A PHOSPHORUS EFFUSION CELL FOR PRODUCING MOLECULAR BEAMS TO BE DEPOSITED ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1002140(A1) 申请公布日期 2000.05.24
申请号 EP19980905069 申请日期 1998.02.17
申请人 CHORUS CORPORATION 发明人 COLOMBO, PAUL, E.;PRIDDY, SCOTT
分类号 C23C14/24;C30B23/06;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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