光活性香豆素衍生物的制备方法

摘要

本发明涉及一种新型香豆素衍生物的制备方法,所述衍生物可用作在包括光致抗蚀剂、光电子元件等应用领域中用作光活性化合物。本发明涉及一个多步骤合成方法,用于制备5－羟基、6－羟基或7－羟基－3－重氮基－4－氧代－3,4－二氢香豆素的醚、羧酸和磺酸酯和碳酸酯,所述方法以相应的二羟基苯乙酮作为原料。由本发明方法形成的化合物显示出在远紫外区(DUV)(约250nm)具有非常高的光敏性,因而,可用作光致抗蚀剂制剂中的光活性化合物。

主权项

1、一种制备3-重氮基-2，4-二氧代-苯并-杂环化合物的醚、羧酸和 磺酸酯和碳酸酯的方法，该方法包括下述步骤： (a)在适宜的保护基团存在下，在适宜的温度和压力条件下，使取 代的羟基苯乙酮进行足够长时间的取代反应，以形成相应的羟基保护的 苯乙酮； (b)在碳酸二烷基酯和催化剂存在下，在适宜的温度和压力条件下， 使所述的羟基保护的苯乙酮置于适宜的加成-环化条件下足够长的时间， 以形成相应的含β-酮基-烯醇基团的苯并-杂环化合物； (c)在适宜的温度和压力条件下，使所述的杂环化合物置于适宜的 脱保护条件下足够长的时间，以形成相应的含β-酮基-烯醇基团的羟基- 苯并-杂环化合物； (d)在式R-Z_n化合物存在下，在适宜的温度和压力条件下，使所述 的羟基-苯并-杂环化合物置于适宜的取代条件下足够长的时间，以形成 相应的含β-酮基-烯醇基团的羟基-苯并-杂环化合物的醚、羧酸或磺酸酯， 或碳酸酯 其中 (i)Z为氯或溴； (ii)n为1-10的整数；和 (iii)R选自下述基团： 原子价为n具有1-12个碳原子的烷基， 原子价为n具有7-14个碳原子的芳烷基， 原子价为n具有6-14个碳原子的芳基， 具有式R’-(CO)_n-的酰基，其中，R’为原子价为n具有1-14个碳原 子的脂族或芳族基团， 具有式R’-(O-CO)_n-的烷氧基或芳氧基羰基，其中，R’为原子价为n 具有1-14个碳原子的脂族或芳族基团，和 具有式R’-(SO₂)_n-的磺酰基烷基或磺酰基芳基，其中，R’为原子价为 n具有1-14个碳原子的脂族或芳族基团；和 (e)在重氮基转移剂存在下，在适宜的温度和压力条件下，使来自 步骤(d)的β-酮基-烯醇化合物置于适宜的重氮基转移条件下足够长的时 间，以形成3-重氮基-2，4-二氧代-苯并-杂环化合物的醚、羧酸或磺酸酯 或碳酸酯。