| 发明名称 |
METHOD FOR MONITORING THE PERFORMANCE OF AN ION IMPLANTER USING REUSABLE WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1002330(A1) |
申请公布日期 |
2000.05.24 |
| 申请号 |
EP19980918033 |
申请日期 |
1998.04.07 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
ROHNER, DON, R. |
| 分类号 |
H01J37/304;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01J37/317;G01R31/265 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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