Cross optical axis inspection system for integrated circuits,申请号SG19970004179-传众专利搜索

发明名称	Cross optical axis inspection system for integrated circuits
摘要
申请公布号	SG67446(A1)	申请公布日期	2000.05.23
申请号	SG19970004179	申请日期	1997.12.01
申请人	HEWLETT-PACKARD COMPANY	发明人	SENG TOH PENG
分类号	G01N21/88;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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