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发明名称 Etching method
摘要
申请公布号 SG72964(A1) 申请公布日期 2000.05.23
申请号 SG19990002976 申请日期 1999.06.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO LTD. 发明人 OKUMURA TOMOHIRO;IMAI HIROSHI
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306;C23C16/52 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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