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发明名称
摘要
申请公布号 JP3044049(B2) 申请公布日期 2000.05.22
申请号 JP19900063790 申请日期 1990.03.14
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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