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发明名称
摘要
申请公布号
JP3043370(B2)
申请公布日期
2000.05.22
申请号
JP19900162797
申请日期
1990.06.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/762;H01L21/306;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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