| 主权项 |
1.一种机器手臂承板之改良适用于承载晶圆,该机器手臂承板系为一长形薄板,该长形薄板之第一端与机器手臂相连接,其第二端具有一矩形缺口,该承板之两端分别设有一外环凸块,上述二外环凸块之间系为晶圆承载区,该晶圆承载区在与第一端之外环凸块相邻且靠近承板两侧之处分别设有一相对应之防滑板,又在与第二端之外环凸块相邻且靠近承板两侧之处分别设有一相对应之防滑板,晶圆系放置于承板之晶圆承载区上,藉由设于其上之防滑板以及承板两端之外环凸块作用,使晶圆不会因为机器手臂的移动或震动而发生滑落或偏位的现象。2.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中该承板系为铝合金材质。3.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中防滑板表面系为粗糙之石英砂粒。4.如申请专利范围第3项所述之机器手臂承板之改良,其中该石英砂粒系以喷砂方式形成于防滑板上。5.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中防滑板之厚度系为约0.5mm。6.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中该防滑板之弧长系为约6mm。7.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中该防滑板之径向长度系为约5.56mm。8.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中该防滑板系位于承板内侧边约6mm之处。9.如申请专利范围第1项所述之机器手臂承板之改良,其中该外环凸块之高度约2mm。图式简单说明:第一图系习知技术之机器手臂承板之上视图。第二图系习知技术之机器手臂承板承载晶圆之侧视图。第三图系高温制程下机器手臂承板承载晶圆之侧视图。第四图系本创作之机器手臂承板之上视图。第五图系本创作之机器手臂承板承载晶圆之侧视图。 |
