PROCEDE DE PRODUCTION D'UN COURANT DE VAPEUR CONTINU CONTENANT UN COMPOSE DANS LEQUEL DU GALLIUM SE PRESENTE SOUS FORME MONOVALENTE, CREUSET D'EVAPORATION POUR L'EVAPORATION D'UNE SUBSTANCE AINSI QUE DISPOSITIF DE DEPOT SOUS VIDE

摘要

Ce creuset (7 " ) d'évaporation destiné à produire un courant continu de vapeur comporte au moins une chambre (19) de réception d'au moins une substance d'évaporation, et d'au moins une autre substance agissant sur la vapeur de la substance, et peut être fermé ou est fermé de tous côtés, au moins un orifice (15) de sortie d'un courant de vapeur d'un diamètre inférieur à 2 mm, notamment inférieur à 1 mm, étant prévu d'un côté. Ce creuset est utile pour des procédés de dépôt en phase vapeur.