| 摘要 |
En meget følsom mikromaskinert silisium-sensorpakke er tilveiebrakt for bruk i et mikro-g miljø som også kan mot- stå høye sjokk i overkant av 5.000 g. Sen- soren er innrettet for å måle akselerasjon i samvirke med tilhørende elektronikk som er nødvendig for å få elektrisk kontakt med sensorelementene. Sensoren er forseg- let i et miljø med høyt vakuum, og er an- ordnet og utformet for å være fri for temperaturinduserte deformasjoner av sen- soren. Pakkeanordningen for sensorbrikken omfatter en mikromaskinert silisium- sensorbrikke (20), en keramisk pakke (40), to kontaktfjærer (36, 37), en kortslutningsklemme (34) , et forformet loddemiddel (62), et metallokk (60) og en getterfolie for å sikre godt vakuum over en lang periode. Sensorbrikken omfatter en bevegelig masse med åtte under- støttelsesfjærer på begge sider av prøve- massen. Prøvemassens bevegelse blir på begge sider beskyttet av en topp- og en bunn-hette. Akselerasjon påført pakken og brikken får prøvemassen til å bevege seg vertikalt i relasjon til de tilstøtende hetter. Avstandsforandringer mellom prøve- massen og hettene genererer så en endring i et elektrisk signal som svarer til kapasitansendringene mellom gapene. Sensorpakke-arrangementet sørger for at sensorbrikken blir festet inne i et evaku- ert, keramisk hus. Elektriske forbindelser opprettet mellom ytre kontakter på huset og kontakter på sensorbrikken inne i hu- set, er utformet gjennom ledende fjærer, for derved å minimalisere materialer i det indre av huset som ville gasse ut i vakuummiljøet. |
