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经营范围
发明名称
Linear Poliergerät und Wafer Planarisierungsverfahren
摘要
申请公布号
DE69512971(T2)
申请公布日期
2000.05.18
申请号
DE19956012971T
申请日期
1995.07.31
申请人
ONTRAK SYSTEMS INC., MILPITAS
发明人
HOMAYOUN, TALIEH;WELDON, DAVID EDWIN
分类号
B24B21/00;B24B7/22;B24B21/04;B24B35/00;B24B37/04;B24B41/06;B24B53/007;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04
主分类号
B24B21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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