发明名称 |
Messungen der Krümmung und von Stufenversetzungslinien in Halbleiterprozessen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69423936(D1) |
申请公布日期 |
2000.05.18 |
申请号 |
DE19946023936 |
申请日期 |
1994.09.08 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED, DALLAS |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
分类号 |
G01L1/00;G01B11/16;G01B11/30;G01L9/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/16;H01L21/00 |
主分类号 |
G01L1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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