| 发明名称 |
Energieauflösendes Emissions-Mikroskop-System und Verfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69328323(D1) |
申请公布日期 |
2000.05.18 |
| 申请号 |
DE19936028323 |
申请日期 |
1993.01.18 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
BRUCE, VICTORIA J. |
| 分类号 |
G01R31/302;G01R31/308;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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