发明名称 |
ELECTROSTATIC MAINTAINING DEVICE |
摘要 |
La présente invention concerne un dispositif de maintien électrostatique particulièrement destiné au maintien de plaquettes de matériaux conducteurs ou semi-conducteurs tels que le silicium pendant qu'elles subissent des micro- usinages ou tout autre type de traitement comme des traitements au plasma da ns une enceinte sous vide par exemple. A cet effet, le dispositif est composé d'une surface électriquement isolante sous laquelle sont disposées au moins deux électrodes. Les électrodes sont alimentées par un courant continu dont les polarités sont périodiquement inversées afin de libérer les charges électrostatiques accumulées.
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申请公布号 |
CA2350653(A1) |
申请公布日期 |
2000.05.18 |
申请号 |
CA19992350653 |
申请日期 |
1999.11.10 |
申请人 |
SEMCO ENGINEERING S.A. |
发明人 |
PELLEGRIN, YVON;HALE, WILLIAM;CLAUDE, RICHARD;HERNANDEZ, JOSE |
分类号 |
H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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