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发明名称 Quasi hot wall reaction chamber
摘要
申请公布号 EP0728850(B1) 申请公布日期 2000.05.17
申请号 EP19960102721 申请日期 1996.02.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LINDSTROM, PAUL R.
分类号 C23C16/46;C23C16/48;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/46;H01L21/00 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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