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发明名称 Method and apparatus for processing a wafer to remove an unnecessary substance therefrom
摘要
申请公布号 GB0007920(D0) 申请公布日期 2000.05.17
申请号 GB20000007920 申请日期 2000.03.31
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 B08B5/00;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B5/00
代理机构 代理人
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